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SC100-SR分体型匀胶机 甩胶机 旋转涂膜仪 匀膜机
2015-03-29 18:02:21 北京文德科技有限公司 发布
SC100-SR分体型匀胶机 甩胶机 旋转涂膜仪 匀膜机的详细描述：
SC100的分体式。
特点：（1）主机更小尺寸，可轻松放置于手套箱内操作。
（2）更方便嵌入工作台面以下，降低操作高度。
（3）控制盒可远离主机，使用更方便。
特性优点：
- 最新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
- 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
- Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
- 标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。
- 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
- 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
- 排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。
-
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
主要性能指标：
- 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
- 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
- 转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)
- 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）
- 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
- 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
- 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
- 支持wafer尺寸1cm-200mm
- 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
- 设备尺寸 32cm W × 32cm D × 30cm H
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