Hakuto离子蚀刻机7.5IBE 用于刻蚀硅微机械陀螺芯片-益择网-专业的仪器网上选购商城

v 某芯片实验室为了解决芯片湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题, 引进伯东 Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 用于刻蚀硅微机械陀螺芯片.

Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 技术规格:

portant;"> 真空腔	portant;"> 1 set, 主体不锈钢,水冷
portant;"> 基片尺寸	portant;"> 1 set, 4”/6”ϕ Stage, 直接冷却,
portant;"> 离子源	portant;"> ϕ 8cm 考夫曼离子源 KDC75
portant;"> 离子束入射角	portant;"> 0 Degree～± 90 Degree
portant;"> 极限真空	portant;"> ≦1x10-4 Pa
portant;"> 刻蚀性能	portant;"> 一致性: ≤±5% across 4”

该实验室采用的 Hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE 的核心构件离子源是配伯东公司代理美国考夫曼博士创立的KRI考夫曼公司的考夫曼离子源 KDC 75

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC75 技术参数：

portant;"> 离子源型号	portant;"> 离子源 KDC 75
portant;"> Discharge	portant;"> DC 热离子
portant;"> 离子束流	portant;"> >250 mA
portant;"> 离子动能	portant;"> 100-1200 V
portant;"> 栅极直径	portant;"> 7.5 cm Φ
portant;"> 离子束	portant;"> 聚焦, 平行, 散射
portant;"> 流量	portant;"> 2-15 sccm
portant;"> 通气	portant;"> Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
portant;"> 典型压力	portant;"> < 0.5m Torr
portant;"> 长度	portant;"> 20.1 cm
portant;"> 直径	portant;"> 14 cm
portant;"> 中和器	portant;"> 灯丝

* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

试验结果:

Hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE 刻蚀出的芯片表面平整、光滑,解决了湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题,并提高了刻蚀速率。

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生台湾伯东 : 王小
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw

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Hakuto离子蚀刻机7.5IBE 用于刻蚀硅微机械陀螺芯片

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