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考夫曼射离子源RFICP380辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片
2021-02-02 07:52:34 伯东企业（上海）有限公司 发布
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伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
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射频离子源型号 |
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RFICP380 |
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Discharge 阳极 |
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射频 RFICP |
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portant;">
离子束流 |
portant;">
>1500 mA |
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离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
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portant;">
栅极直径 |
portant;">
30 cm Φ |
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portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
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portant;">
流量 |
portant;">
15-50 sccm |
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portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
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长度 |
portant;">
39 cm |
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直径 |
portant;">
59 cm |
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中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
工艺流程:
该正极片的制备在离子束溅射室内进行, 将铝箔作为基片, 将定量的块体硫和块体碳作为靶材.
在开始工艺前, 需要将离子束溅射室抽真空后, 然后利用KRI 射频离子源 RFICP380 将通入的氩气离化为氩离子, 氩离子束以不同的功率交替轰击块体硫和块体碳, 将硫原子和碳原子分别溅射出来, 沉积到铝箔表面, 即获得带有硫碳复合材料的锂硫电池正极片.
KRI 射频离子源 RFICP380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
为了给离子束溅射室提供 10-4 Pa真空度, 该制造商采用伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700抽真空. 其技术参数如下:
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portant;">
2707-Operating voltage: V DC |
portant;">
48 (± 5 %) V DC |
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portant;">
Ar 的压缩比 |
portant;">
> 1 · 1011 |
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portant;">
Ar 的抽速 |
portant;">
665 l/s |
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portant;">
Ar 的最终转速时的气体流量 |
portant;">
3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s |
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portant;">
H2 的压缩比 |
portant;">
4 · 105 |
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portant;">
H2 的抽速 |
portant;">
555 l/s |
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H2 的最终转速时的气体流量 |
portant;">
> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s |
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portant;">
He 的压缩比 |
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