上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀
2023-06-05 14:49:30 伯东企业(上海)有限公司 发布
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HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口,或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
连接形式: |
标准或定制法兰 |
---|---|
主体材料: |
铝 |
公称通径: |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
压力范围: |
1x10E-9 Torr |
烘烤温度: |
《150℃ |
适用介质: |
水、蒸汽、空气 |
密封形式: |
软密封型 |
驱动方式: |
气动 |
使用寿命: |
1000000 启闭次数 |
28200&88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
DN |
Model |
|
|
|||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm |
inch |
Number |
J (Bolted Body) |
K (Clamped Body) |
||||
32 x 220 |
1.26 x 8.74 |
28212-0109RX_ |
||||||
32 x 332 |
1.26 x 13.07 |
28212-0113RX_ |
||||||
46 x 236 |
1.81 x 9.29 |
28212-0209RX_ |
||||||
50 x 336 |
1.97 x 13.23 |
28212-0213RX_ |
HVA 28200&88200 系列矩形真空板阀部件图
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