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气体质量流量计M2500V/A 30SLPM-1000SLPM

【各项技术参数】

Model

M3500V

M3500A

流量范围(N2)

  300slpm ~ 1000slpm

  300slpm ~ 1000slpm

  响应时间

  <2 sec

  <2 sec

  精准度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

重复精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  输入/输出信号

  0~5 Vdc

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

  供电电源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  耐压

  <15 bar

  <15 bar

  工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

  2 ~ 100% for

  2 ~ 100%

产品优势:

质量流量监测

不因为温度和压力的波动而失准

方便型的流量控制系统

高准确度

耐高压(90bar)

响应速度快

高重复精度

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气体质量流量计M2500V/A 30SLPM-1000SLPM

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