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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>泰思肯 高分辨率肖特基场发...

更新时间:2025-02-23 12:02:55 点击:752次

产品型号 MIRA 3 XMH
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 泰思肯
产地 返回顶部
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技术参数
放大倍数 返回顶部 2×-1,000,000×连续可调
分辨率 返回顶部 1.0nm (30kV),1.2nm (15kV),2.0nm(3kV)
加速电压 返回顶部 200V至30kV
样品台移动范围 返回顶部 X=130mm--马达控制 Y=130mm--马达控制 Z=100mm--马达控制 旋转:360°连续可调--马达控制 倾斜:-30°到+90°--马达控
真空度 返回顶部 高真空:<9×10-3Pa; 枪体真空:<3×10-7Pa
其他信息
产品简介

分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
    (低真空二次电子)
 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV)
 2.0nm(30kV)
 1.5nm(30kV), 3nm(3kV)
 工作真空
 高真空模式 <5×10-4Pa
 低真空模式3-500Pa
 枪体真空 <3×10-7Pa
 
 
 
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 2×-1000000×连续可调
 加速电压 200V至30kV
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸
 最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可 在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
 
 样品室
 内部尺寸 300mm 宽 × 330mm 深
 门宽 280mm 宽 × 310mm 深
 接口数量 12+
 样品室减振方式 内置气垫(可选配内置主动式电磁减振)

+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 
 样品载台  
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围 全马达驱动控制方式:
X=130mm--马达驱动
Y=130mm--马达驱动
Z=100mm--马达驱动
旋转:360°连续可调--马达驱动
倾斜:-30°到+90°--马达驱动
 样品高度 最大145mm
 
 

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