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最新产品 > 样品处理设备 > 泵装置 > 真空泵 > 分子泵>英国Edwards 涡轮分子泵 EXT70

更新时间:2025-02-20 05:45:23 点击:466次

产品型号 EXT70
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 分子泵
品牌 返回顶部 英国Edwards
产地 返回顶部 英国
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技术参数
建议前级泵 返回顶部 E2M0.7
法兰 返回顶部 入口法兰 :DN40NW, DN50NW, DN63CF or DN63ISO-K 出口法兰: DN16NW
压缩比 返回顶部 N2 :〉1×108 He :6000 H2 :500
启动时间 返回顶部 90s
环境温度 返回顶部 自然对流 0-30℃ 风冷 0-35℃ 水温范围(水冷) 10-20℃
额定转速 返回顶部 90000 rpm
仪器功率 返回顶部 10 W
其他信息
产品简介

产品简介
BOC Edwards EXT泵适用于除最苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承,EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

技术指标

出气口 ⅛ inch BSP 母
最大连续入口压力
15℃水冷 9×10-1 mbar
35℃风冷 9×10-2 mbar
30℃自然对流 9 ×10-3 mbar
工作转速 63000 rpm
90%转速启动时间 90s
冷却模式 自然对流、风冷、水冷
入口法兰最高温度 100℃
环境温度范围
自然对流 0-30℃
风冷 0-35℃
水温范围(水冷) 10-20℃
最小耗水量(15℃) 15 l h-1
工作姿态 垂直向上
1米噪音 〈50 dB(A)
最大磁场 5 mT
控制器(推荐) EXC100或EXC120
功率 10 W

入口法兰 DN40NW DN50NW DN63CF DN63ISO-K
抽速 (ls-1)
N2 52 60 65 65
He 53 56 60 60
H2 46 48 50 50
极限真空(mbar) 〈5×10-9 〈5×10-9 〈5×10-10 〈5×10-9
重量 (kg) 1.4 1.4 3.4 1.5

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技术创新 BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一,使用起来更加方便。OEM或有电源的最终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮,这可以降低成本。另外还具有如下优点:无油(涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染);低维护(无轴承接触,无机械磨损);低振动(比一般轴承的振动低一个数量级);减少冷却(对许多应用来说自然冷却即可);定位任意(可以安装在任意位置)。
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