技术数据                             TYFB-650复合分子泵     TYFB-1300复合分子泵     TYFB-1800复合分子泵
高真空法兰（mm）              150CF     160ISO-K     200CF     200 ISO-K     250CF     250 ISO-K
前级管道法兰（mm）            40KF                           40KF                            50KF
保护气体充气法兰(防腐泵)      16KF                           16KF                            16KF
抽气速（L/S）                      650                            1300                            1800
压缩比     N2                        >109                          >109                            >109

               H2                       >8×103                      >1×104                      >1×104
极限压强（Pa）帕                 <8×10-8   <5×10-7    <8×10-8   <5×10-7    <8×10-8     <5×10-7
电机转速（n/min）               24000                         24000                         24000
使用轴承                              脂润滑陶瓷轴承              脂润滑陶瓷轴承              脂润滑陶瓷轴承
振动值                                 ≤0.1μm                       ≤0.1μm                        ≤0.15μm
启动时间（min）                   建议采用的前级泵                  4—8 L/S                      8—15 L/S                      8—15 L/S
冷却方式                               水冷                             水冷（风冷）                 水冷（风冷）
水冷泵冷却水温度                   ≤20℃                          ≤20℃                          ≤20℃
水冷冷却水流量（L/min）       1                                   1                                1
安装方向                              任意角度                         任意角度                      任意角度
泵重量（kg）                        ≈22                               ≈27                            ≈35

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