日本SHIMADZU磁悬浮涡轮分子泵

磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。

                       空冷型
型号                     TMP-     TMP-   TMP-    TMP-      TMP-      TMP-
                      203M     303M   403M    803M      1003M      2003M
排气速度L/S (N2)     190      320      420      800      1080      2000
最大吸气压力Pa             1.3       1.3    1.3     1.3      1.3    0.23
到达压力(烘烤后)Pa     10-8Pa     10-8Pa  10-9Pa  10-9Pa   10-9Pa  10-9Pa


                      广域型
型号                              TMP-        TMP-        TMP-        TMP-        TMP-         TMP-           TMP-        TMP-           TMP-          TMP-         TMP-
                                  203LM     303LM     403LM     803LM     1003LM     1303LM     2003LM     2203LM     3203LM     3403LM     4203LM
排气速度L/S (N2)          190         320           420          800         1080         1300         2000         2050         3200          3300         4000
最大吸气压力Pa             200         200          200           400           400          133            67            40               40            10             10
到达压力(烘烤后)Pa     10-8Pa     10-8Pa   10-8Pa      10-9Pa    10-9Pa       10-8Pa     10-6Pa     10-9Pa       10-8Pa       10-7Pa       10-7Pa

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