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最新产品 > 样品处理设备 > 泵装置 > 真空泵 > 分子泵>阿迪克森 Adixen 磁悬浮涡轮...

更新时间:2025-02-25 04:23:51 点击:391次

产品型号 ATH-M系列
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 分子泵
品牌 返回顶部 阿迪克森
产地 返回顶部 法国
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技术参数
其他信息
产品简介

产 品 说 明
五大防腐特性
·自动平衡系统
·嵌入式75加热系统
·5轴控制
·惰性气体吹扫
·逆向动力密封(适用于ATH400与ATH1300型)

高流量应用    
ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。
紧凑而现代的设计
·可调节转速以优化抽气时的参数
·高平均无故障时间
·使用成本低
·低噪音低振动
·无需电池
应用
·玻璃镀膜
·微处理系统加工
·离子束矫正
·电子显微镜
·空间模拟腔
·粒子加速器
·半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入)
·镀膜与薄镀膜工艺
·离子铣
·以及许多研发实验

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